INTERFEROMETRO ZYGO IR – VIS PER LA MISURA DELLA QUALITA’ DI SUPERFICI

L’interferogramma è in grado di dare informazioni sullo scostamento del componente sotto esame rispetto ad un simile componente di alta qualità utilizzato come elemento di confronto.

Utilizzando radiazione laser e, quindi, radiazione monocromatica come sorgente in un interferometro, si conferisce allo strumento maggiore versatilità grazie alla maggiore lunghezza di coerenza ed alla varietà di configurazioni geometriche che si possono utilizzare

Schema ottico dello strumento

Schema interferometro Wyant 10.6 µm

1) Ottica di riferimento pilotata di piezo; 2) binario per zoom e ottiche di messa a fuoco; 3) rivelatore Vidicon Piroelettronico; 4) specchio ribaltabile per la prova delle lenti; 5) retroriflettore ribaltabile per allineamento; 6) espansore di fascio; 7) laser a CO2; 8) condotto per il raffreddamento; 9) specchio parabolico fuori asse; 10) montaggio per specchio parabolico; 11) montaggio per lente divergente; 12) uscita collimata; 13) involucro. 

Configurazione Twyman Green

E’ costituita da una sorgente, posta dietro ad un espansore di fascio, che illumina un beam splitter (BS). Questo divide la luce incidente in due. La parte riflessa è inviata sullo specchio di riferimento e la parte trasmessa su quello in prova. Le successive riflessioni vengono sommate sul sistema di rivelazione dove si formano le frange. 

Poiché la superficie di riferimento è di qualità ?/20 nel visibile, è stato conveniente sostituire le ottiche rifrangenti per CO2 con ottiche per luce visibile in modo da utilizzare lo stesso strumento anche nel visibile.

Sorgenti utilizzate per le misure interferometriche: la sorgente a CO2 cw e il laser He-Ne

La sostituzione di alcuni componenti ha consentito l’uso dello strumento anche nel visibile.

Modifiche sullo strumento originale: 

• montaggio meccanico per laser He-Ne;

• inserimento di uno specchio di rinvio per laser visibile in modo da riprendere lo      stesso percorso ottico del laser a CO2;

• inserimento di una lente divergente che adatti la divergenza del laser He-Ne al beam expander;

• sostituzione del beam splitter in germanio con uno per il visibile;

• inserimento di un sensore CCD 1280x960 pixel per il visibile.
  

Web cam per 632,8 nm

Attenuatori di fascio per le due sorgenti.