SISTEMA PER LA DEPOSIZIONE SOTTO VUOTO
Vista di insieme
Diametro utile di 750 mm.
A destra un particolare dello strumento: la fast entry.
Permette di accedere con facilità ai crogioli per riempirli con il materiale di deposito.
Il colore rosso nella camera è dovuto alle lampade IR che riscaldano la superficie da trattare.
Le pompe permettono di raggiungere il vuoto di 10-6 mbar in 15 min.
Tre crogioli, alimentabili in maniera indipendente, consentono di depositare strati di materiali diversi in un unico processo senza riaprire la camera.
La fase di deposizione è automatizzata e programmabile controllando la potenza erogata a ciascun crogiolo. Viene modificata la velocità di deposizione che determina lo spessore di ciascuno strato del film da depositare.
Passanti elettrici per i crogioli. Ne è visibile una coppia.
Gli altri sono coperti da uno shutter mobile per evitare la mutua contaminazione di materiali diversi.
Sistema di controllo
In alto a sinistra gli strumenti di controllo del vuoto, il misuratore di pressione ed il controller della pompa turbomolecolare.
A fianco lo strumento che controlla tutto il processo di deposizione.
Dopo la prima fila di strumenti vi è una serie di interruttori che abilitano al funzionamento le diverse parti.
In basso il controller della velocità di rotazione del supporto del pezzo da trattare e la valvola di
degasamento.
Apertura della camera
Sotto al coperchio è visibile il dispositivo rotante che sostiene il pezzo da trattare.
Dispositivo di ancoraggio degli specchi da trattare.
Particolari del sistema di evaporazione
Interno della camera
Si possono osservare: le due lampade IR poste sul fondo; nel centro un crogiolo connesso ad una coppia di passanti elettrici; sulla destra la porta di aspirazione con le “palette” della pompa turbomolecolare.
